Double-head grinding method and double-head grinding apparatus

WO2012140842 Art A1 18. Oktober 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012140842
Aktenzeichen
EP12770629
Anmeldetag
2. April 2012
Veröffentlichung
18. Oktober 2012
Rechtsraum
WO
IPC
B24B7/17H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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