E-beam enhanced decoupled source for semiconductor processing

WO2012142038 Art A1 18. Oktober 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012142038
Aktenzeichen: EP12772035
Anmeldetag: 10. April 2012
Veröffentlichung: 18. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32B05D3/06B05D3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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