Method for etching a bst layer

WO2012143325 Art A1 26. Oktober 2012

Anmelder: ST Microelectronics (Tours) SAS, STMicroelectronics S.r.l. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012143325
Aktenzeichen: EP12713763
Anmeldetag: 16. April 2012
Veröffentlichung: 26. Oktober 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ST Microelectronics (Tours) SAS
STMicroelectronics S.r.l.
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇮🇹 STMicroelectronics Italy

Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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