Method for resuming operation of wire saw and wire saw

WO2012144136 Art A1 26. Oktober 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012144136
Aktenzeichen
EP12774227
Anmeldetag
2. April 2012
Veröffentlichung
26. Oktober 2012
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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