Wet Electric Dust Collector

WO2012147387 Art A1 1. November 2012

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012147387
Aktenzeichen: EP12777140
Anmeldetag: 8. Februar 2012
Veröffentlichung: 1. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B03C3/16B03C3/14B03C3/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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