Sample holding apparatus for electron microscope, and electron microscope apparatus

WO2012147632 Art A1 1. November 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012147632
Aktenzeichen: EP12776478
Anmeldetag: 20. April 2012
Veröffentlichung: 1. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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