Antimony amino alkoxide compound and method for preparing same, and method for forming a thin film containing antimony using the antimony amino alkoxide compound and an atomic layer deposition technique
WO2012148085
Art A2
1. November 2012
Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012148085
- Aktenzeichen
- EP12776394
- Anmeldetag
- 22. März 2012
- Veröffentlichung
- 1. November 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07F9/90C23C16/18C23C16/44H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Research Institute of Chemical Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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