Methods and apparatus to determine parameters in metal-containing films

WO2012148906 Art A2 1. November 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012148906
Aktenzeichen: EP12776620
Anmeldetag: 24. April 2012
Veröffentlichung: 1. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01N27/72G01N25/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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