Internal faraday shield having distributed chevron patterns and correlated positioning relative to external inner and outer tcp coil

WO2012148931 Art A1 1. November 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012148931
Aktenzeichen: EP12777380
Anmeldetag: 24. April 2012
Veröffentlichung: 1. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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