Fin field effect transistor and manufacture method thereof

WO2012151797 Art A1 15. November 2012

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012151797
Aktenzeichen
EP11865334
Anmeldetag
10. August 2011
Veröffentlichung
15. November 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/8232H01L21/84H01L29/772H01L29/78H01L29/792
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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