Inspection method for film thickness of transfer-receiving object, manufacturing method for transfer-receiving object, manufacturing device for transfer-receiving object, and stamper for transfer

WO2012153708 Art A1 15. November 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012153708
Aktenzeichen: EP12782901
Anmeldetag: 7. Mai 2012
Veröffentlichung: 15. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G11B5/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung

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