Charged particle beam apparatus and electrostatic chuck apparatus

WO2012161128 Art A1 29. November 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012161128
Aktenzeichen: EP12788963
Anmeldetag: 18. Mai 2012
Veröffentlichung: 29. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H01J37/20H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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