Method and apparatus for depositing nanomaterials

WO2012161561 Art A1 29. November 2012

Anmelder: Mimos, Berhad 🇲🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012161561
Aktenzeichen: EP12748066
Anmeldetag: 22. Mai 2012
Veröffentlichung: 29. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mimos, Berhad
Land: 🇲🇾 Malaysia

🇲🇾 Mimos Berhad

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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