Method and system for manufacture of a electronic devices based on localized deposition of precursor gases

WO2012162271 Art A2 29. November 2012

Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012162271
Aktenzeichen: EP12789208
Anmeldetag: 21. Mai 2012
Veröffentlichung: 29. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Utah Research Foundation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Utah Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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