Apparatus and methods for multi-scale alignment and fastening

WO2012162369 Art A1 29. November 2012

Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012162369
Aktenzeichen: EP12788992
Anmeldetag: 23. Mai 2012
Veröffentlichung: 29. November 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L23/544B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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