Method for adjusting position of polishing head in heightwise direction, and method for polishing workpiece

WO2012164820 Art A1 6. Dezember 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012164820
Aktenzeichen
EP12793401
Anmeldetag
25. April 2012
Veröffentlichung
6. Dezember 2012
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/10B24B37/005B24B49/10H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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