Pressure sensor, manufacturing method thereof, and pressure detection module
Anmelder: Nippon Mektron Ltd., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, The University of Tokyo 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012165082
- Aktenzeichen
- EP12791985
- Anmeldetag
- 20. April 2012
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01L1/20G01L5/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Nippon Mektron Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
The University of Tokyo - Land
- 🇯🇵 Japan
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