Method for manufacturing molybdenum oxide-containing thin film, starting material for forming molybdenum oxide-containing thin film, and molybdenum amide compound

WO2012165124 Art A1 6. Dezember 2012

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012165124
Aktenzeichen: EP12793080
Anmeldetag: 11. Mai 2012
Veröffentlichung: 6. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/40C07C211/03H01L21/28H01L21/285C07F11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Adeka Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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