Fly's eye optical mirror with a plurality of optical elements rotationally aligned along two axes

WO2012166204 Art A1 6. Dezember 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012166204
Aktenzeichen
EP11866797
Anmeldetag
16. Dezember 2011
Veröffentlichung
6. Dezember 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G02B26/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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