Method and device for producing variable resistance element

WO2012169194 Art A1 13. Dezember 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012169194
Aktenzeichen: EP12796305
Anmeldetag: 7. Juni 2012
Veröffentlichung: 13. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06H01L27/105H01L45/00H01L49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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