Method for producing film comprising si and metal m

WO2012169625 Art A1 13. Dezember 2012

Anmelder: The University of Tokyo, Sumitomo Chemical Company Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012169625
Aktenzeichen: EP12796775
Anmeldetag: 8. Juni 2012
Veröffentlichung: 13. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24H01M4/134H01M4/1395H01M4/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Sumitomo Chemical Company Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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