Mass Spectrometry For Gas Analysis in Which Both A Charged Particle Source And A Charged Particle Analyzer Are Offset From an Axis Of A Deflector Lens, Resulting in Reduced Baseline Signal Offsets

WO2012170170 Art A1 13. Dezember 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012170170
Aktenzeichen: EP12724802
Anmeldetag: 17. Mai 2012
Veröffentlichung: 13. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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