Copper filled opening with a cap layer

WO2012171726 Art A2 20. Dezember 2012

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012171726
Aktenzeichen: EP12719397
Anmeldetag: 9. Mai 2012
Veröffentlichung: 20. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/16C23C18/31C23C18/32H01L23/532H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

482 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von