Verfahren zur Bereitstellung eines Vorhersagemodells für eine Rissdetektion und Verfahren zur Rissdetektion an einer Halbleiterstruktur

WO2012172073 Art A1 20. Dezember 2012

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012172073
Aktenzeichen: EP12729944
Anmeldetag: 15. Juni 2012
Veröffentlichung: 20. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/95G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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