Pattern forming method, method for manufacturing electronic device by using the same, and electronic device

WO2012173215 Art A1 20. Dezember 2012

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012173215
Aktenzeichen: EP12800028
Anmeldetag: 8. Juni 2012
Veröffentlichung: 20. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/038G03F7/039G03F7/32G03F7/38G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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