Mirror assembly for an exposure apparatus

WO2012174108 Art A1 20. Dezember 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012174108
Aktenzeichen: EP12799849
Anmeldetag: 13. Juni 2012
Veröffentlichung: 20. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/195

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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