Solar Cell Process Carrier

WO2012174432 Art A2 20. Dezember 2012

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012174432
Aktenzeichen
EP12800963
Anmeldetag
15. Juni 2012
Veröffentlichung
20. Dezember 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/673H01L31/18B65D85/86B65D85/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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