Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Oled's

WO2012175307 Art A1 27. Dezember 2012

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012175307
Aktenzeichen: EP12726605
Anmeldetag: 31. Mai 2012
Veröffentlichung: 27. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12C23C14/24C23C14/22H01L51/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von