Vorrichtung zur Aerosolerzeugung und Abscheiden einer Lichtemittierenden Schicht

WO2012175315 Art A1 27. Dezember 2012

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012175315
Aktenzeichen: EP12730169
Anmeldetag: 1. Juni 2012
Veröffentlichung: 27. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/12C23C14/24B01D1/00B65G33/26C23C14/22B05B7/14C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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