Silicon wafer and method for manufacturing same

WO2012176370 Art A1 27. Dezember 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012176370
Aktenzeichen
EP12803406
Anmeldetag
14. Mai 2012
Veröffentlichung
27. Dezember 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/322C30B29/06C30B33/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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