Polishing head, polishing device, and workpiece polishing method

WO2012176376 Art A1 27. Dezember 2012

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012176376
Aktenzeichen: EP12802191
Anmeldetag: 28. Mai 2012
Veröffentlichung: 27. Dezember 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00B24B37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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