Solar Cell Process Carrier

WO2012178180 Art A2 27. Dezember 2012

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012178180
Aktenzeichen
EP12803053
Anmeldetag
25. Juni 2012
Veröffentlichung
27. Dezember 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L31/18H01L21/677H01L21/673B65D85/38H01L31/042
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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