Semiconductor structure and manufacturing method thereof

WO2013000268 Art A1 3. Januar 2013

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013000268
Aktenzeichen
EP12803765
Anmeldetag
17. Mai 2012
Veröffentlichung
3. Januar 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/78H01L29/06H01L21/336H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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