Sputtering Target
WO2013005400
Art A1
10. Januar 2013
Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013005400
- Aktenzeichen
- EP12807351
- Anmeldetag
- 28. Juni 2012
- Veröffentlichung
- 10. Januar 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34C04B35/00H01L21/336H01L29/786
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Idemitsu Kosan Co., Ltd
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Idemitsu Kosan
Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).
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