Scanning electron microscope, defect inspection system, and defect inspection device

WO2013008531 Art A1 17. Januar 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013008531
Aktenzeichen: EP12810892
Anmeldetag: 16. Mai 2012
Veröffentlichung: 17. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/225G01N21/95G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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