Nanoimprint Lithography

WO2013010111 Art A2 17. Januar 2013

Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013010111
Aktenzeichen: EP12810818
Anmeldetag: 13. Juli 2012
Veröffentlichung: 17. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00B29C59/00H01L21/027G03F7/20G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Utah Research Foundation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Utah Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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