Data architecture and user interface for plasma processing related software applications

WO2013011401 Art A1 24. Januar 2013

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013011401
Aktenzeichen: EP12815007
Anmeldetag: 3. Juli 2012
Veröffentlichung: 24. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G06F9/44G06F17/20G06F17/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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