Structured illumination device, structured illumination microscope, and structured illumination method

WO2013011680 Art A1 24. Januar 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013011680
Aktenzeichen: EP12814698
Anmeldetag: 13. Juli 2012
Veröffentlichung: 24. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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