Stage device and stage control system

WO2013011711 Art A1 24. Januar 2013

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013011711
Aktenzeichen
EP12815390
Anmeldetag
28. Februar 2012
Veröffentlichung
24. Januar 2013
Rechtsraum
WO
IPC
B23Q1/26B23Q1/38F16C32/06H01L21/027H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

1.544 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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