Manufacturing method for molds for nanoimprinting

WO2013011953 Art A1 24. Januar 2013

Anmelder: Mitsubishi Rayon Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013011953
Aktenzeichen: EP12814868
Anmeldetag: 13. Juli 2012
Veröffentlichung: 24. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C33/38B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Rayon Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Rayon

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Kohlenstofffasern und Kunststoffe, seit 2017 als Mitsubishi Chemical firmierend.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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