Improved ultrasonic cleaning method and apparatus
WO2013014556
Art A1
31. Januar 2013
Anmelder: Lam Research AG, Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2013014556
- Aktenzeichen
- EP12817641
- Anmeldetag
- 2. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 31. Januar 2013
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B08B3/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Fachgebiete
Vertreten von
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