Etchant for copper/molybdenum-based multilayer thin film

WO2013015322 Art A1 31. Januar 2013

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013015322
Aktenzeichen: EP12817304
Anmeldetag: 25. Juli 2012
Veröffentlichung: 31. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/18C23F1/26H01L21/28H01L21/306H01L21/308H01L21/336H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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