Solar metrology methods and apparatus

WO2013016469 Art A1 31. Januar 2013

Anmelder: Kla-tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013016469
Aktenzeichen: EP12817414
Anmeldetag: 26. Juli 2012
Veröffentlichung: 31. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/62H01L31/042H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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