Systems for and methods of controlling time-multiplexed deep reactive-ion etching processes

WO2013016532 Art A1 31. Januar 2013

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013016532
Aktenzeichen: EP12746428
Anmeldetag: 26. Juli 2012
Veröffentlichung: 31. Januar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G05D16/20C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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