Test pattern for trench poly over-etched step and formation method thereof

WO2013016975 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: CSMC Technologies Fab1 Co., Ltd., CSMC Technologies Fab2 Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013016975
Aktenzeichen
EP12819206
Anmeldetag
7. Juni 2012
Veröffentlichung
7. Februar 2013
Rechtsraum
WO
IPC
H01L23/544H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CSMC Technologies Fab1 Co., Ltd.
CSMC Technologies Fab2 Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 CSMC Technologies Fab2

CSMC Technologies Fab2 Co., Ltd. ist ein chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Wuxi, der als Foundry Leistungshalbleiter und analoge Bauelemente fertigt. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Elektronik, Optik und Mess- und Prüftechnik. Anmeldungen erfolgen seit 2010 bis in die Gegenwart.

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