Method for producing graphene nanomesh and method for manufacturing semiconductor device

WO2013018153 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: Fujitsu Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013018153
Aktenzeichen: EP11870468
Anmeldetag: 29. Juli 2011
Veröffentlichung: 7. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/06B82Y30/00B82Y40/00C01B31/02H01L21/205H01L21/336H01L29/16H01L29/786H01L31/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujitsu Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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