Photosensitive resin composition, material for forming relief pattern, photosensitive film, polyimide film, cured relief pattern and method for producing same, and semiconductor device

WO2013018524 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013018524
Aktenzeichen
EP12820839
Anmeldetag
12. Juli 2012
Veröffentlichung
7. Februar 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08G73/10G03F7/004H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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