Resist developer, process for forming resist pattern and process for producing mold

WO2013018569 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013018569
Aktenzeichen: EP12819337
Anmeldetag: 23. Juli 2012
Veröffentlichung: 7. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/32G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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