Microlens array and scanning exposure device using same

WO2013018572 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2013018572
Aktenzeichen
EP12819462
Anmeldetag
23. Juli 2012
Veröffentlichung
7. Februar 2013
Rechtsraum
WO
IPC
G02B3/00G02B7/00G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V Technology Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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