Exhaust gas combustion apparatus

WO2013018576 Art A1 7. Februar 2013

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013018576
Aktenzeichen: EP12819376
Anmeldetag: 24. Juli 2012
Veröffentlichung: 7. Februar 2013
Rechtsraum: WO
IPC: F23G7/06F23D14/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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